高精度气浮光学平台原理介绍

气浮自平衡光学平台是一种基于气浮技术的高精度光学平台，其原理是利用气浮承载力的特点，通过控制气体的流动和压力来实现对光学元器件的支撑和运动控制。

Dimension-labs 的DL-GJQF1系列高精度气浮隔振自平衡光学平台是维度光电自行设计开发的高精度倒摆式气动隔振平台。在设计理念、系统结构、性能各方面都达到了同类产品的国际先进水平，具有能把5Hz、10Hz的低频振动的幅值，分别隔离掉90%及98%的能力，适用于对隔振要求很高的环境。

原理对比：

一般气浮隔振器的原理如下图，其垂直隔振效果良好，水平隔振效果一般。

Dimension-Labs的 DL-GJQF1系列高精度气浮隔振自平衡光学平台采用自主研发的倒摆式气动隔振器，原理如图，隔振器的垂直隔振及水平隔振效果均良好。

自平衡气浮隔振光学平台可以高精确、快速自动调平整个平台系统，重复性为 ±0.3mm。原理示意图如下：

气浮自平衡光学平台气路图如下：

气浮自平衡光学平台具有支撑稳定、隔振效果良好、运动灵活、精度高等优点，广泛应用于高精度光学系统、半导体加工设备、精密测量仪器等领域。